掺钨类金刚石膜离子渗硫后的微观结构与摩擦学性能

• 作者: 付志强 刘家浚 岳文 王成彪 王松 高晓成
• 来源期刊: 材料热处理学报
• 学科: 工学
• 关键词: 掺钨类金刚石 低温离子渗硫 固体润滑膜 摩擦学性能
• 年，卷（期）: 2012,（12）
• 所属期刊栏目: 表面改性
• 页码范围: 121-125
• 分类号: TG161
• 语种: 中文

摘要

探讨了掺钨类金刚石（W—DLC）膜沉积及离子渗硫两步合成DLC和WS2复合固体润滑膜的新方法。利用低温离子渗硫技术对4种钨含量的W—DLC膜进行离子渗硫处理，采用扫描电子显微镜（SEM）、俄歇扫描探针（SAM）、X射线光电子能谱（XPS）、拉曼光谱仪（Raman），纳米硬度计（Nano—indenter）和摩擦磨损试验机考察了渗硫处理后W．DLC膜的微观结构与摩擦学性能。结果表明：渗硫处理使W—DLC膜中生成了WS2，促进了DLC膜的石墨化，并降低了其纳米硬度；随钨含量增加，渗硫处理的W—DLC膜纳米硬度逐渐升高，摩擦系数和磨损率逐渐减小，渗硫后的27．7％W—DLC膜表现出最优异的摩擦学性能。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘家浚	清华大学机械工程系	77	1388	21.0	33.0