抛光金刚石膜残余应力对红外透射性能的影响

• 作者: 刘锟 李元松 黄鑫
• 来源期刊: 机械工程与自动化
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石膜 残余应力 红外透射性能 XRD
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 所属期刊栏目: 科研研究
• 页码范围: 91-93
• 分类号: TB383|TH123+.4
• 字数: 1727字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6413.2012.02.036

摘要

以抛光的CVD金刚石厚膜为基体,用X射线衍射测出其光谱,再运用布拉格公式计算出表面的残余应力,测出一定应力状态下对应红外透射率的大小,探讨CVD金刚石厚膜的内应力和红外透射率之间的作用规律.研究结果表明:抛光的CVD金刚石厚膜由于竞争生长模式下的粗大柱状晶和非金刚石成分的掺杂,使得内应力变化较大,随着膜中残余应力的增大CVD金刚石膜红外透射率将减小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄鑫	扬州大学机械工程学院	10	10	2.0	2.0
2	刘锟	扬州大学机械工程学院	2	1	1.0	1.0
3	李元松	扬州大学机械工程学院	2	1	1.0	1.0