氮化物硬质涂层中Cr、Ti和Al元素对摩擦磨损特性的影响

• 作者: 张颖 杨立 赵玉清 陈仙 韩亮
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 非平衡磁控溅射 氮化物涂层 摩擦磨损特性
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 47-51
• 分类号: TB74
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2012.02.013

摘要

利用四靶闭合场非平衡磁控溅射(CFUBMS)技术在石英玻璃和抛光不锈钢片两种基底上制备含有Cr、Ti和Al元素组合的各种氮化物涂层.采用摩擦磨损仪测试涂层摩擦系数,应用金相显微镜对各个涂层磨痕形态进行分析,结果表明TiN、CrN、TiAlN、CrAlN以及CrTiAlN涂层的摩擦系数依次减小,耐磨特性依次提高；结合涂层的X射线光电子能谱分析,可以得到含有Al元素涂层中形成了AlN的结构,提高涂层的硬度,增加耐磨特性；在涂层中含有Cr元素形成了氧化物Cr2O3可以提高涂层自排屑能力,减小摩擦系数,增加耐磨特性,含Ti元素形成的氧化物TiO2则不利于涂层的摩擦磨损特性；由于CrTiAlN本身具有比三元氮化物更高的涂层硬度,且含有Al和Cr元素,因此该涂层具有最好的摩擦磨损性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张颖	西安交通大学电信学院	128	1278	17.0	33.0
2	杨立	西安交通大学电信学院	6	35	2.0	5.0
3	韩亮	西安电子科技大学技术物理学院	20	58	3.0	7.0
5	赵玉清	西安交通大学电信学院	17	63	4.0	7.0
8	陈仙	西安交通大学电信学院	8	34	3.0	5.0