一种氦源装置的设计与应用

• 作者: 冯晓 廖旭东 张宇 白国云 胡茂中 陈涛
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 检测要求 氦源装置 控制释放 可靠性
• 年，卷（期）: 2012,（12）
• 所属期刊栏目: 真空技术与理论
• 页码范围: 1136-1139
• 分类号: TB774
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2012.12.15

摘要

针对被检对象不允许另行开设检漏接口的检测要求,设计了一套氦源控制释放装置系统.系统中,气路以手动和电动相结合的控制方式可实现调试与预置模式的快速转换；其中,电动控制采用冗余设计,提高了系统控制释放的可靠性；以监测氦源气室内压力的变化判断气体是否可靠释放,解决了直接测量容器内气体百帕级增压而带来的技术难度大的问题.整套系统控制释放可靠性高,成本低,体积小,使用方便,已多次被应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冯晓		16	66	3.0	8.0
2	廖旭东		11	17	3.0	3.0
3	胡茂中		5	29	3.0	5.0
4	白国云		12	52	3.0	6.0
5	陈涛		14	45	3.0	5.0
6	张宇		13	22	3.0	4.0