PECVD沉积双层SiNx对太阳电池性能的影响

• 作者: 凡金星 张光春 施正荣 李果华 杨健 陈如龙
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 双层SiNx 等离子体增强化学气相沉积 减反射膜 太阳电池 少数载流子寿命
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 半导体先进制造技术
• 页码范围: 192-196
• 分类号: TM914.4
• 字数: 3131字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353x.2012.03.007

摘要

提出了一种简单有效的制备双层SiNx薄膜的方法,其薄膜具有良好的减反射钝化特性.采用等离子体增强化学气相沉积( PECVD)的方法,通过控制SiH4和NH3气体流量比,在p型多晶硅衬底上生长单层及双层SiNx膜.随后使用薄膜测试分析仪测量了薄膜的厚度、折射率及反射率,并用Semilab WT - 2000测量少数载流子寿命,通过测量量子效率,对单、双层膜电池进行了比较.实验结果表明:相比单层减反射钝化膜,采用双层SiNx膜,少数载流子寿命可以得到更好的改善,开路电压可提高约2 mV,短路电流可提高约40 mA,电池效率能提高0.15％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨健		7	31	3.0	5.0
2	陈如龙		8	42	4.0	6.0
3	凡金星	江南大学理学院	1	7	1.0	1.0
4	李果华		1	7	1.0	1.0