溶胶-凝胶法制备Mg0.2Zn0.8O阻变薄膜的研究

• 作者: 单旭 王华 许积文 赵霞妍 高书明
• 来源期刊: 电工材料
• 关键词: Mg0.2Zn0.8O 溶胶-凝胶工艺 漏电流
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 研究·分析
• 页码范围: 25-27,37
• 页数: 4页
• 分类号: TM205.+1|O484.4
• 语种: 中文

摘要

采用溶胶-凝胶工艺在氧化铟锡(ITO)玻璃衬底上制备Mg0.2Zn0.8O阻变薄膜,研究了退火温度和薄膜层数对Mg0.2Zn0.8O薄膜生长行为、漏电流性能的影响.研究发现,Mg0.2Zn0.8O薄膜是多晶态结晶结构,薄膜的(100)、(002)和(101)晶面所对应衍射峰的强度随镀制薄膜层数的增多和退火温度的升高明显增强.结果表明,随退火温度的升高,高阻态(HRS)和低阻态(LRS)的漏电流减小；然而,HRS时薄膜的漏电流却随Mg0.2Zn0.8O薄膜层数的增多而变大.退火温度和薄膜厚度改变Mg0.2Zn0.8O阻变薄膜中氧空穴和缺陷的数量,进而影响Mg0.2Zn0.8O薄膜的漏电流.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王华	桂林电子科技大学材料科学与工程学院广西信息材料重点实验室	98	463	13.0	17.0
2	许积文	桂林电子科技大学材料科学与工程学院广西信息材料重点实验室	68	171	6.0	10.0
3	单旭	桂林电子科技大学材料科学与工程学院广西信息材料重点实验室	3	5	2.0	2.0
4	赵霞妍	桂林电子科技大学材料科学与工程学院广西信息材料重点实验室	4	10	2.0	3.0
5	高书明	桂林电子科技大学材料科学与工程学院广西信息材料重点实验室	2	5	2.0	2.0