One-Dimensional Fluid Model of Pulse Modulated Radio-Frequency SiH4/N2/O2 Discharge

刘相梅; 宋远红; 王友年; 王燕

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One-Dimensional Fluid Model of Pulse Modulated Radio-Frequency SiH4/N2/O2 Discharge

One-Dimensional Fluid Model of Pulse Modulated Radio-Frequency SiH4/N2/O2 Discharge

作者：

刘相梅宋远红王友年王燕

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放电等离子体

流体模型

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一维

射频

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粒子密度

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文献信息

篇名	One-Dimensional Fluid Model of Pulse Modulated Radio-Frequency SiH4/N2/O2 Discharge
来源期刊	等离子体科学和技术：英文版	学科	地球科学
关键词	放电等离子体流体模型脉冲调制一维射频电子温度粒子密度电容耦合
年，卷（期）	2012,（2）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围	107-110
页数		分类号	O53\|X703
字数		语种	英文
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