数值分析电诱导流变成型技术外部因素的影响

• 作者: 丁玉成 李欣 李祥明 田洪淼 邵金友
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 电场诱导聚合物流变成型技术 电流体动力学 动网格技术 微纳结构 数值仿真
• 年，卷（期）: 2012,（11）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 736-742
• 分类号: TH703|TB712
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2012.11.006

摘要

电场诱导聚合物流变成型作为一种新型的利用外部电场实现微纳米复型的技术得到越来越多的关注.为了深入理解复型本质与影响因素,提出了电流体动力学(EHD)理论与动网格方法耦合的模型,从数值模拟角度研究了电场诱导聚合物流变成型过程中电场分布与诱导结构之间的关系,仿真分析了在此过程中各外部因素(电压、空气间隙与膜厚)对复型结构的影响.仿真结果表明,初始时刻聚合物薄膜表面的电场分布在复型过程中起决定性作用；同时,合理地调节施加电压,模板与聚合物薄膜间的空气间隙以及聚合物薄膜厚度都可以有效提高复型结构的质量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	丁玉成	西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室	128	1941	23.0	39.0
2	李欣	西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室	63	262	9.0	13.0
3	邵金友	西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室	5	44	4.0	5.0
4	田洪淼	西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室	4	37	3.0	4.0
5	李祥明	西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室	3	25	3.0	3.0