PVD法制备TiN涂层界面特征与摩擦磨损性能

• 作者: 付永忠 吴永忠 孔德军 王文昌
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 物理气相沉积 TiN涂层 结合强度 摩擦系数 磨损性能
• 年，卷（期）: 2012,（12）
• 所属期刊栏目: 结构薄膜
• 页码范围: 1078-1083
• 分类号: TH117.1|TG115.5+8
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2012.12.04

摘要

采用物理气相沉积法在Cr12MoV钢基体上制备了TiN涂层,利用扫描电镜、能量色散谱、X射线衍射和轮廓仪对涂层形貌特征、化学元素、物相组成和表面粗糙度进行了表征,用划痕法测试其结合强度,并分析划痕法涂层失效过程.通过往复磨损试验考察了其摩擦磨损性能,对涂层磨损机理进行了讨论.结果表明,TiN涂层主要组成相为TiN,试样表面粗糙度Ra值为328.91nm,涂层表面显微硬度达到2100 ～ 2200 HV;涂层厚度约为5μm,与基材之间存在一定的混合界面,其界面结合强度为28.85 N；在干滑动磨损实验条件下摩擦系数为0.45～0.52,涂层具有优异的耐磨性,其磨损机制主要为磨粒磨损.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孔德军	常州大学机械工程学院	95	414	9.0	13.0
2	吴永忠	常州大学机械工程学院	15	137	6.0	11.0
3	王文昌	常州大学机械工程学院	43	199	7.0	11.0
4	付永忠	常州大学机械工程学院	2	32	2.0	2.0