利用电镀铜填充微米盲孔与通孔之应用

• 作者: 窦维平
• 来源期刊: 复旦学报：自然科学版
• 学科: 工学
• 关键词: 电镀铜 填孔 微米盲孔 通孔 电镀添加剂
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 所属期刊栏目: 2011年全国电子电镀及表面处理学术会议优秀论文专辑
• 页码范围: 131-138,I0001;I0002
• 分类号: TQ150.1
• 语种: 中文

摘要

电子产品之高密度内连结制程技术,从上游的半导体制程到中游的封装基板制程,一直到下游的电路板制程,似乎都需要依赖电镀铜填孔技术.近几年来,电镀铜填孔技术日趋受到重视,相关专秘的电镀配方、技术、设备以及周边配套的仪器设施等,如雨后春笋般地发展起来.以往常用但未能深入了解的电镀铜技术有了跃进式的突破,值得探讨.这些技术的发展,似乎有着轮回应用的走势,即下游电路板的电镀铜制程技术似乎渐渐朝半导体制程技术发展,因此衍生出电镀铜填充盲孔的制程技术;而上游的半导体制程工艺中以往没有所谓的镀通孔（PTH）,如今却因为3D芯片整合的需要,出现了所谓的穿硅孔（TSV）,而所谓的TSV,其实与镀通孔具有类似的制程步骤以及相同的功能与目的,只是介电材料、设备等不同而已.针对目前电镀铜填充微米级盲孔与通孔的相关技术作概略式的介绍与回顾.