光能量场分布的MATLAB仿真

• 作者: 刘学杰 张安萍 李智
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 物理气相沉积 晶粒尺寸 杨氏干涉 多光源干涉 矢量叠加 MATLAB
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 所属期刊栏目: 应用技术
• 页码范围: 75-78
• 分类号: TG174.42|TP391.9
• 字数: 1647字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3660.2012.01.022

摘要

为在物理气相沉积过程中获得理想的晶粒尺寸,介绍了一种精确控制纳米晶粒尺寸的微观控制方法,即用光的干涉方法控制能量场分布.利用MATLAB的循环计算能力计算光的矢量叠加,仿真光的干涉,分别对扬氏干涉、三光源干涉以及多光源不同排布的干涉进行分析.经过分析可知:3个或3个以上的光源线性排列时,得到的条纹是将两光源的条纹打碎；而多个光源按正多边形排列的干涉,规律排布区域出现在光源围成的区域中间,3个、4个及6个光源规律排布区域中加强点的间距分别为λ/(√3),λ(√2)和2λ；若要得到1 cm2规律排布区域,3个光源与规律排布区域中心的距离为0.1m,4个光源则为1 m.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘学杰	内蒙古科技大学机械工程学院	57	114	6.0	7.0
2	李智	内蒙古科技大学机械工程学院	6	14	3.0	3.0
3	张安萍	内蒙古科技大学机械工程学院	4	19	3.0	4.0