大型环抛面形实时监测与控制

• 作者: 何曼泽 刘义彬 杨李茗 欧光亮 王琳
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 光学制造 面形监测 环抛机 关键参数
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 399-402
• 分类号: TN248
• 字数: 2702字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/HPLPB20122402.0399

摘要

为解决大型激光驱动器建设中的关键工艺大型精密环形抛光技术一直存在着的控制困难、精度收敛不稳定的难题,分析了环形抛光加工中面形调整控制机理和本质,找到了传统调节控制和判断方法中的缺陷,提出了一种对环抛机面形变化基本实时的离线监测方法.这种监测方法具有结构简单、检测判断时间短和面形变化反应直观的优点.通过建立实验监测装置和实际加工验证,获得了较好的面形趋势判断和实时控制效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨李茗		35	223	9.0	12.0
2	刘义彬		5	34	3.0	5.0
3	何曼泽		3	13	2.0	3.0
4	王琳		3	13	2.0	3.0
5	欧光亮		1	10	1.0	1.0