可刹离超薄铜箔沉铜工艺研究现状

• 作者: 赖远藤 黄崛起
• 来源期刊: 世界有色金属
• 学科: 工学
• 关键词: 超薄铜箔 铜工艺 焦磷酸盐 可剥离 硫酸盐 氰化物 电积铜 支撑
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 所属期刊栏目: 技术装备
• 页码范围: 30-32
• 页数: 3页
• 分类号: TQ153.14
• 语种: 中文

摘要

载体支撑的可剥离超薄铜箔的三种常用沉铜方法是：氰化物电沉铜法、焦磷酸盐电沉铜法、硫酸盐电沉铜法。本文对这三种方法进行了总结，并逐一分析了三种沉铜方法的优缺点，分析得出硫酸盐电积铜作为最普及的沉铜方法的原因，并对载体支撑的可剥离超薄铜箔的沉铜方式的发展作了展望。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄崛起		4	18	3.0	4.0
2	赖远藤		1	0	0.0	0.0