直线时栅传感器全误差模型与误差修正方法研究

• 作者: 彭东林 杨继森 陈锡侯 高忠华
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 直线时栅 全误差模型 组合校准 误差修正
• 年，卷（期）: 2012,（8）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 87-89,93
• 分类号: TP212.6
• 字数: 3363字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2012.08.026

摘要

为了进一步提高直线时栅位移传感器的测量精度,在建立该传感器周期误差、阿贝误差\热膨胀误差的全误差模型基础上,提出了一种组合校准的方法,利用傅里叶谐波分析和材料线膨胀原理对直线时栅的各种误差进行修正,修正后的精度可达±0.5 μm/m.实验证明:该方法解决了直线测量中误差难以分离的问题,同时解决了计算机连续自动采样问题,提高了标定效率,使该方法广泛地应用于生产实践成为可能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	彭东林	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	11	137	8.0	11.0
2	高忠华	重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心	28	238	11.0	13.0
6	陈锡侯	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	1	11	1.0	1.0
7	杨继森	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	1	11	1.0	1.0