溶胶-凝胶法制备Pb(Zrx,Ti1-x)O3薄膜研究进展

• 作者: 朱聪 熊杰 王锡彬 郭培 陶伯万
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: Pb(Zrz,Ti1-x)O3 铁电薄膜 综述 sol-gel法
• 年，卷（期）: 2012,（7）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 70-75
• 分类号: TM22+3
• 字数: 6535字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2012.07.020

摘要

Pb(2rx,Ti1-x)(PZT)铁电薄膜因具有优良的铁电性、压电性、热释电性和声光性能而受到广泛关注,其电、光性能与其制备过程密切相关.简要介绍了PZT薄膜制备工艺流程,系统地从前驱体溶液、摩尔比r(Zr∶Ti)、热处理工艺、电极材料以及掺杂改性等五个方面概述了sol-gel法制备PZT薄膜的研究进展,并指出了目前sol-gel法制备PZT铁电薄膜研究中存在的一些问题以及未来的研究方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	熊杰	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	41	205	6.0	12.0
2	陶伯万	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	39	165	5.0	10.0
3	郭培	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	11	8	2.0	2.0
4	王锡彬	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	1	4	1.0	1.0
5	朱聪	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	2	10	2.0	2.0