图形反转剥离工艺用于复合含能点火桥膜的制备

• 作者: 余协正 叶迎华 朱莹 杨程 沈瑞琪 王成玲
• 来源期刊: 火工品
• 关键词: MEMS 图形反转 剥离 含能桥膜 点火
• 年，卷（期）: 2012,（4）
• 页码范围: 1-5
• 分类号: TQ560.6
• 语种: 中文

摘要

为了制备高点火能力的复合含能桥膜,对图形反转剥离工艺进行研究,发现其倒梯形的光刻胶剖面有利于制备高精度的厚膜图形.以Ti为过渡层,在Si3N4/Si基底上成功制备出线宽80μm、厚度2μm的W型Ni/Al多层复合含能桥膜,形状完整清晰;SEM和EDS分析表明,桥膜表面晶粒均匀,成分稳定.采用高速摄影仪分别拍摄了等尺寸、等厚度的Al桥膜、Ni桥膜和Ni/Al复合桥膜在100μF电容(140V充电电压)放电下的无药点火情况,发现Ni/Al复合桥膜反应迅速,火焰喷射面积更大,并能抛撒出大量火花,且持续时间最长.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	叶迎华	南京理工大学化工学院	123	751	15.0	19.0
2	沈瑞琪	南京理工大学化工学院	171	1017	16.0	20.0
3	杨程	南京理工大学化工学院	3	12	2.0	3.0
4	王成玲	南京理工大学化工学院	2	16	2.0	2.0
5	余协正		2	9	2.0	2.0
6	朱莹	南京理工大学化工学院	4	23	3.0	4.0