直流喷射电弧等离子体制备金刚石单晶的研究

• 作者: 吕反修 李宏 李彬 李浩 闫占奇 陈广超 韩晓泉
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 直流喷射电弧 等离子体 化学气相沉积 金刚石单晶
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 页码范围: 279-283
• 分类号: O78
• 字数: 2370字
• 语种: 中文

摘要

通过利用光发射谱技术,探测了大功率直流喷射电弧等离子体增强化学气相沉积方法中沉积区域的气相激元分布,进而优选了金刚石生长的位置.在沉积过程中,不断使衬底做背向等离子体的运动,实现了大颗粒金刚石的连续生长,颗粒尺寸达到约1 mm3.采用劳厄背反射X射线衍射测试技术和拉曼谱技术,对所制备的样品进行了测试,结果表明:所制备的颗粒为金刚石单晶.对于大尺寸衬底,研究了背向运动速度对沉积晶体的形貌和质量的影响,发现了ATG型不稳定形貌.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕反修	北京科技大学材料科学与工程学院	151	1208	18.0	24.0
2	陈广超	北京科技大学材料科学与工程学院	27	235	9.0	14.0
4	李宏	北京科技大学冶金与生态学院	90	582	14.0	20.0
5	李浩	北京科技大学材料科学与工程学院	5	58	4.0	5.0
6	李彬	北京科技大学冶金与生态学院	16	252	7.0	15.0
9	闫占奇	北京科技大学材料科学与工程学院	1	6	1.0	1.0
10	韩晓泉	北京科技大学材料科学与工程学院	1	6	1.0	1.0