Love波传感器结构的有限元分析方法

• 作者: 付琛 何世堂 李红浪 梁勇 王秀东
• 来源期刊: 声学学报
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 页码范围: 170-176
• 页数: 7页
• 语种: 中文

摘要

提出一种ANSYS分析Love波传感器性能的有限元方法.根据Love波传感器的特点,施加一维近似假设和周期性边界条件建立了由压电基片,金属电极和波导层组成Love波传感器的三维有限元分析模型,并在此模型分析结果基础上提取结构的特征频率.一方面运用开路和短路条件下的特征频率来计算机电耦合系数,另一方面结合微扰理论的计算得到器件的质量灵敏度.最后通过这两个参数来选取波导层厚度,使器件达到最优的性能.在不同的波导层厚度情况下,计算了SiO2/ST-90°X石英和SiO2/36°Y-X LiTaO3两种结构Love波传感器结构的仿真结果,得到了这两种结构的波导层最优的厚度分别为0.11 λ和0.2 λ.与已报道的文献和实验的结果对比,本文所采用的方法明显优于传统的均匀层状结构理论分析的结果,通过仿真不同结构和材料参数的器件性能,有效地指导Love波传感器的设计.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	梁勇	中国科学院声学研究所	88	1472	21.0	35.0
2	李红浪	中国科学院声学研究所	29	61	4.0	5.0
3	何世堂	中国科学院声学研究所	74	236	8.0	12.0
4	付琛	中国科学院声学研究所	3	7	2.0	2.0
5	王秀东	中国科学院声学研究所	2	2	1.0	1.0