磁控溅射纳米VO_2（B相）热敏薄膜的制备

• 作者: 何少伟 王宏臣 胡庆 董翔 蒋亚东 赖建军 陈鹏杰 黄光
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 二氧化钒薄膜 磁控溅射 微测辐射热计 非致冷红外探测器 电阻温度系数
• 年，卷（期）: 2012,（4）
• 所属期刊栏目: 材料、结构及工艺
• 页码范围: 500-502
• 分类号: TN213
• 语种: 中文

摘要

利用磁控反应溅射镀膜方法在低温（250℃）条件下制备了主要成分为B相亚稳态二氧化钒（VO2）的薄膜材料。电学性能测试表明：室温下该薄膜的方块电阻为50kΩ左右,电阻温度系数为-2.4%/K,可以作为非致冷红外微测热辐射热计的热敏材料。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋亚东	电子科技大学光电信息学院	318	2024	18.0	25.0
2	胡庆	电子科技大学光电信息学院	6	28	4.0	5.0
3	董翔	电子科技大学光电信息学院	5	11	2.0	3.0
4	何少伟	电子科技大学光电信息学院	2	2	1.0	1.0
5	陈鹏杰	电子科技大学光电信息学院	2	2	1.0	1.0
6	赖建军		1	2	1.0	1.0
7	王宏臣		1	2	1.0	1.0
8	黄光		1	2	1.0	1.0