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摘要:
台积电近日宣称,将会继续按照原定计划推进450mm(18英寸)晶圆的发展,预计2013—14年开始试验性生产,2015—16年投入批量生产。台积电计划在2014年完成大约95%的450mm晶圆生产的安装,2015年开始小批量生产。
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篇名 台积电:最快2015年量产14nm、450mm大晶圆
来源期刊 集成电路通讯 学科 工学
关键词 台积电 晶圆 小批量生产 试验性
年,卷(期) jcdltx,(2) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 21-21
页数 1页 分类号 TN305
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台积电
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集成电路通讯
季刊
大16开
安徽省蚌埠市06信箱
1983
chi
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