硬盘盘片表面疵病检测装置的光学系统设计

• 作者: 唐勇 孙浩 张远健 李京展 杨铭 柴利飞 贾天祥 陈宝莹
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 光学设计与制造 散射模型 散射理论 散射光特性 光学设计
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 所属期刊栏目: 激光与光电子技术应用
• 页码范围: 118-119,123
• 分类号: O439
• 字数: 1027字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3806.2012.01.030

摘要

为了检测硬盘盘片表面疵病的大小是否符合标准,设计了一种检测装置.采用光的散射理论,结合硬盘盘片表面疵病的粗糙度等级和实验结果,利用光照射到粗糙表面时发生的散射现象、散射光的特性以及散射模型建立的理论基础,对4种散射模型进行了分析和比较.并以混合型散射模型为基础,利用光学设计软件完成了该检测装置的光学系统设计.结果表明,混合型散射模型的散射角最大、散射能量密度最大,最适合用于反映硬盘盘片表面疵病造成的散射现象.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐勇	长春理工大学光电工程学院	19	79	5.0	8.0
2	杨铭	长春理工大学光电工程学院	6	26	2.0	5.0
3	柴利飞	长春理工大学光电工程学院	4	20	1.0	4.0
4	陈宝莹	长春理工大学光电工程学院	5	28	2.0	5.0
5	孙浩	长春理工大学光电工程学院	7	27	2.0	5.0
6	张远健	长春理工大学光电工程学院	4	20	1.0	4.0
7	李京展	长春理工大学光电工程学院	2	2	1.0	1.0
8	贾天祥	长春理工大学光电工程学院	2	14	1.0	2.0