不同波长激光对绝缘体上硅材料损伤阈值的理论研究与数值分析

• 作者: 付博 任攀 刘晨星 张大勇 李阳龙
• 来源期刊: 应用激光
• 学科: 物理学
• 关键词: SOI材料 波长效应 激光损伤
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 页码范围: 134-138
• 页数: 5页
• 分类号: O437
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AL20123202.134

摘要

分析了不同波长激光辐照绝缘体上硅(SOD材料时的相互作用机制.使用ANSYS软件热分析模块,通过有限元方法模拟得到波长分别是355、532、1 064nm的激光辐照SOI材料后的温度场分布.讨论了不同波长激光辐照SOI材料表面时的自加热现象.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张大勇		62	225	7.0	12.0
2	付博		15	51	5.0	6.0
3	刘晨星		2	6	1.0	2.0
4	任攀		3	0	0.0	0.0
5	李阳龙		5	23	2.0	4.0