美研究将MEMS晶体管集成至CMOS电路

• 来源期刊: 集成电路通讯
• 学科: 工学
• 关键词: CMOS电路 晶体管 MEMS 集成 CMOS芯片 联盟成员 微机电系统 康奈尔大学
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 页码范围: 26-26
• 页数: 1页
• 分类号: TN432

摘要

美国半导体研发联盟机构SemiconductorResearch（SCR）与康奈尔大学（ComellUniversity）合作发表一种微机电系统（MEMS）晶体管，并可提供给SCR联盟成员采用，做为CMOS芯片上的时序（timing）解决方案。