大功率脉冲激光光斑面积的实时控制系统

• 作者: 傅星 张峰烈 林谦 胡小唐
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 脉冲激光 光斑面积 实时控制 图像二值化 激光微抛光
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 127-129,132
• 分类号: TP391.41
• 字数: 2840字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2012.01.039

摘要

讨论了大功率脉冲激光光斑面积的实时检测与控制方法,研制了采用波长532 nm的连续激光器和CCD-FPGA技术来脉冲激光光斑面积实时控制系统.实验分析了本系统的技术特性:激光光斑、CCD视频信号以及二值化信号；CCD视频信号二值化阈值为405 mV,而FPGA的控制误差范围为十进制数24;计算及标定激光光斑面积,光斑面积测量的相对误差最大为0.5％,而绝对误差在8 μm2范围内.本系统可以直接应用于激光微抛光的能量密度实时控制.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡小唐	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	205	1913	21.0	33.0
2	傅星	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	107	753	14.0	20.0
3	张峰烈	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	3	24	2.0	3.0
4	林谦	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	2	6	1.0	2.0