晶硅切磨废弃硅粉为原料的反应烧结Si3N4结合SiC复相陶瓷的正交实验研究

• 作者: 张雅倩 罗绍华 翟向乐 耿桂宏 腾飞 陈宇红
• 来源期刊: 电瓷避雷器
• 学科: 工学
• 关键词: Si3N4结合SiC 晶圆硅废料 反应烧结 正交实验 力学性能
• 年，卷（期）: 2012,（6）
• 所属期刊栏目: 绝缘子
• 页码范围: 26-28,34
• 页数: 4页
• 分类号: TM911
• 字数: 2390字
• 语种: 中文

摘要

以磨切单晶硅废料Si粉和SiC为原料,Y2O3-Al2O3-Fe2O3为复合烧结助剂,反应烧结法制备Si3N4/SiC复相陶瓷材料.运用L9 (34)正交设计,研究了原料中Si、助剂Al2O3、Y2O3和Fe2O3的含量对陶瓷材料力学性能的影响和优化.采用X射线衍射(XRD)和扫描电镜(SEM)对复合材料的相组成、断口形貌进行分析.结果表明,反应烧结后试样生成Si3N4结合SiC晶粒为主相,及少量SiALON与未反应的Si相的烧结体.Si含量对力学性能的影响最为显著,对于抗弯强度性能,正交试验获得的工艺优化参数:ω(Si):20％、ω(Al2O3):3.2％、ω(Fe2O3):0.8％和ω(Y2O3):2％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈宇红	北方民族大学材料科学与工程学院	55	139	7.0	9.0
2	耿桂宏	北方民族大学材料科学与工程学院	61	105	5.0	7.0
3	罗绍华	东北大学秦皇岛分校材料系	17	84	6.0	8.0
4	翟向乐	东北大学秦皇岛分校材料系	3	9	2.0	3.0
8	腾飞	东北大学秦皇岛分校材料系	2	2	1.0	1.0
9	张雅倩	东北大学秦皇岛分校材料系	1	2	1.0	1.0