MPCVD制备大颗粒金刚石形貌的研究

• 作者: 吕继磊 朱金凤 涂昕 满卫东
• 来源期刊: 硬质合金
• 学科: 工学
• 关键词: 大颗粒 微波等离子体 化学气相沉积 表面形貌
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 所属期刊栏目: 材料科学
• 页码范围: 72-79
• 分类号: TG135.5
• 字数: 3269字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-7292.2012.02.003

摘要

利用自制5 kW微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)装置,沉积得到了晶粒尺寸达到500μm的大颗粒金刚石.采用抛光后的硅作为基底,CH4和H2为气源,分别研究了基片边缘与中心区域沉积的大颗粒金刚石的表面形貌.通过SEM表征了金刚石的表面形貌.发现基片边缘由于产生放电现象加速了金刚石的沉积,而晶粒之间相互挤压导致了孪晶的产生,影响其生长质量.相反由于中心区域形核密度低,使得晶粒在优先生长的模型下抑制了小晶粒的生长,从而提供更多的能量促进大晶粒的生长,在本实验条件下(100)晶面得到了长大,并获得了表面平整、晶体形貌良好的大颗粒金刚石.最后介绍了国内外合成大颗粒金刚石的研究进展,并对其研究方向做出了展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	满卫东	武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	45	370	11.0	16.0
2	吕继磊	武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	8	81	5.0	8.0
3	朱金凤	武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	6	63	5.0	6.0
4	涂昕	武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	7	49	5.0	7.0