深微孔内径测量技术研究

• 作者: 云鹏 刘柯 周彩红 梁雅军 王晓宁
• 来源期刊: 宇航计测技术
• 学科: 工学
• 关键词: 深微孔径测量 电感传感器 红宝石测头
• 年，卷（期）: 2012,（4）
• 页码范围: 6-9
• 分类号: TH741
• 字数: 3388字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-7202.2012.04.002

摘要

介绍了一种基于高准确度电感传感器和红宝石测头,在测长机上实现深微孔径测量的方法,解决了内径的Φ1mm～Φ5mm、深度在40mm以下的深微孔内径的测量问题.通过对深微孔径测量装置测量不确定度的分析,在95％置信概率下,装置的测量不确定度为0.6μm,满足测量要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周彩红		7	24	3.0	4.0
2	梁雅军		10	34	5.0	5.0
3	刘柯		11	27	4.0	4.0
4	云鹏		5	21	3.0	4.0
5	王晓宁		1	6	1.0	1.0