MEMS陀螺技术的发展现状与趋势

• 作者: 周芳 张勇 董冀
• 来源期刊: 集成电路通讯
• 学科: 航空航天
• 关键词: MEMS 微机械陀螺 哥氏加速度
• 年，卷（期）: jcdltx,（2）
• 页码范围: 41-48
• 页数: 8页
• 分类号: V249.322

摘要

随着MEMS（MicroElectroMechanicalSystem）技术的深入研究取得的进展，MEMS陀螺（也称微机械陀螺）已经成为过去几十年内广泛研究和发展的主题。MEMS陀螺与传统的机械陀螺、固体陀螺、光学陀螺等相比，具有成本低、尺寸小、重量轻、可靠性高、功耗低等优点，其精度正不断得到提高，应用领域也随之不断扩大。MEMS陀螺已成为未来战术级和中低精度导航应用的主流惯性传感器。美国Honeywell公司HG1900、HG1930等组件中均使用了MEMS陀螺，并成功的应用于联合制导弹药（JDAM）等精确制导弹药中。民用级MEMS产品在今后几年的年增长率将超过100％。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周芳	北方通用电子集团有限公司微电子部	7	0	0.0	0.0
2	张勇	北方通用电子集团有限公司微电子部	2	0	0.0	0.0
3	董冀	北方通用电子集团有限公司微电子部	5	0	0.0	0.0