微波等离子CVD法金刚石薄膜生长的研究

• 作者: 芦宝娟
• 来源期刊: 贵州工业职业技术学院学报
• 学科: 化学
• 关键词: 化学气相沉积 金刚石薄膜 乙醇
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 页码范围: 21-23
• 页数: 3页
• 分类号: O613.71

摘要

金刚石薄膜的各种性质与天然金刚石几乎相同，具有非常广阔的工业前景。本文采用乙醇和氢气作为工作气源，利用微波等离子体化学气相沉积法，在较低的温度下制备了金刚石薄膜，并研究了金刚石薄膜生长的影响因素。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	芦宝娟	贵州工业职业技术学院电子与信息工程学院	15	7	2.0	2.0