金刚石SAW滤波器的设计和制作

• 作者: 赵兴海 郑英彬 陈颖慧 高杨
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 射频微机电(RF MEMS) SAW滤波器 金刚石 ZnO薄膜 叉指换能器(IDT)
• 年，卷（期）: 2012,（10）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 662-666,692
• 分类号: TH703|TN713
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2012.10.006

摘要

通信系统向高频的发展趋势使声表面波(SAW)滤波器技术面临着越来越多的挑战.利用传统材料制作SAW滤波器的中心频率很难达到GHz频段,因此探索在高声速材料基础上制作SAW滤波器成为一种必然趋势.基于高声速材料金刚石设计了IDT/ZnO/金刚石结构的薄膜SAW滤波器,设计了镜像阻抗连接IDT的结构参数,并采用ADS软件对该结构进行了建模仿真.然后,通过ZnO薄膜制备工艺和IDT电极制备工艺,获得了金刚石SAW滤波器样品.最后,采用RF探针台对所制得的样品进行了性能测试和数据分析.测试结果表明,在金刚石厚膜衬底上获得了频率超过1 GHz的SAW滤波器样品.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高杨	中国工程物理研究院电子工程研究所	150	833	13.0	19.0
2	赵兴海	中国工程物理研究院电子工程研究所	34	240	9.0	14.0
3	郑英彬	中国工程物理研究院电子工程研究所	22	115	7.0	9.0
4	陈颖慧	中国工程物理研究院电子工程研究所	15	82	6.0	8.0