溅射氧化钛薄膜的光学性能及热处理对其结构的影响

• 作者: 杜姗 蒋甜甜 黄美东
• 来源期刊: 天津师范大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 氧化钛薄膜 磁控溅射 折射率 退火处理
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 页码范围: 33-35
• 分类号: O434.13|O484.4+1
• 字数: 1851字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-1114.2012.03.008

摘要

常温下采用反应磁控溅射法在K9双面抛光玻璃基底上沉积氧化钛薄膜,通过X射线衍射仪、光栅光谱仪和椭偏仪对氧化钛薄膜样品的光学和结构参数进行测试和分析.结果表明:溅射沉积的氧化钛纳米薄膜呈非晶态;其折射率和消光系数在可见光波段随波长的增大呈指数规律迅速变小,最终趋于一常数,氧化钛薄膜消光系数的平均值很小表明它在可见光波段是透明的;根据所得光学参数计算得到薄膜的透射率在350～800 nm光波范围内,与实验测量结果吻合;沉积的氧化钛薄膜样品经过450℃保温6h的退火热处理后,由非晶态转化为晶态.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄美东	天津师范大学物理与电子信息学院	56	185	7.0	10.0
2	杜姗	天津师范大学物理与电子信息学院	7	15	3.0	3.0
3	蒋甜甜	天津师范大学物理与电子信息学院	2	2	1.0	1.0