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摘要:
根据Moore定律,微处理器的能力可以按指数方式快速提高,数据存储能力的提高也以相似的方式增长,所以这已经成为进一步提高光刻技术的关键点.尖端光刻技术已经允许器件的特征长度可以比用来制作它们的光波波长还要短.例如,相干效应可被用于具有超紫外光线特性的50nm模式上[1].但是想要继续在成本与效益方面有所改善,可能性很小,所以Moore定律与光刻技术将会不可避免地分道扬镳.
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综述
内容分析
关键词云
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文献信息
篇名 一种自组装的长程有序纳米模式
来源期刊 物理 学科 工学
关键词 长程有序 Moore定律 自组装 纳米 光刻技术 存储能力 微处理器 光波波长
年,卷(期) 2012,(3) 所属期刊栏目 Physics Today攫英
研究方向 页码范围 186-187
页数 分类号 TB383
字数 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 黄畇 5 2 1.0 1.0
传播情况
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二级参考文献  (0)
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参考文献  (1)
节点文献
引证文献  (0)
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二级引证文献  (0)
2003(1)
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2012(0)
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  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
长程有序
Moore定律
自组装
纳米
光刻技术
存储能力
微处理器
光波波长
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
物理
月刊
0379-4148
11-1957/O4
大16开
北京603信箱
2-805
1951
chi
出版文献量(篇)
4702
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20
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