平面内谐振式微悬臂梁生化传感器的设计与制造

• 作者: 于海涛 俞锋 李昕欣
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 悬臂梁传感器 平面内谐振模态 品质因数 电热驱动 液体中谐振
• 年，卷（期）: 2012,（7）
• 所属期刊栏目: 生物化学类传感器
• 页码范围: 869-875
• 分类号: TP212.2
• 字数: 4483字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2012.07.001

摘要

给出了一种新型的基于平面内谐振模态的电热驱动微悬臂梁的工作原理和制造方案.相比于传统的平面外谐振模态谐振式悬臂梁,该设计能有效地降低微悬臂梁在液体中工作时的拖曳力,从而降低其振动能量损失,使得其接入锁相环接口电路后的闭环品质因数达到了249.电热驱动和压阻检测方式便于工艺集成和快速检测.本文给出了基于SOI硅片和深反应离子刻蚀(DRIE)的悬臂梁制作方案,并分别在空气和水中对悬臂梁的谐振特性进行了测试.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李昕欣	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	52	280	11.0	13.0
2	于海涛	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	5	52	4.0	5.0
3	俞锋	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	1	5	1.0	1.0