多晶硅氢化炉的电气系统

• 作者: 吴刚 李世振 汪浩 罗健明
• 来源期刊: 东方电气评论
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅生产 三氯氢硅 四氯化硅 氢化炉 电气系统
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 所属期刊栏目: 其他
• 页码范围: 63-66
• 分类号: TK219
• 字数: 3196字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-9006.2012.01.014

摘要

氢化炉是西门子法生产多晶硅企业的重要设备,它可将还原炉尾气中的有毒有害物四氯化硅转化为多晶硅生产的原料三氯氢硅.本文介绍了氢化炉的主要电器设备,并根据氢化生产的流程和工艺,说明选择这些电器设备参数的原则和依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李世振		2	16	1.0	2.0
2	罗健明		2	11	1.0	2.0
3	汪浩		1	1	1.0	1.0
4	吴刚		1	1	1.0	1.0