壁面剪应力测量底层隔板数学模型研究

• 作者: 孙海浪 邓进军 马炳和 马骋宇
• 来源期刊: 航空工程进展
• 关键词: 底层隔板 壁面剪应力 数学模型 压差 微机电系统
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 材料与制造
• 页码范围: 373-378
• 页数: 6页
• 分类号: V241|TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-8190.2012.03.023

摘要

为指导器件研发设计和测量工作，提出了一种建立底层隔板壁面剪应力一压差数学模型的方法。通过量纲分析确定壁面剪应力和压差之间关系；结合具体器件，采用CFD方法计算出若干组壁面剪应力、压差的值；通过非线性回归获得该器件的壁面剪应力一压差数学模型。将建立的模型与实测数据进行对比，结果表明：二者能够较好地吻合，证明提出的方法是有效的。并应用该方法设计并加工了一种压阻式微机电系统（MEMS）底层隔板。