铝诱导层交换的研究进展

• 作者: 刘毅 徐文武 王江涌 陈仁武 魏少巍 黄木香
• 来源期刊: 汕头大学学报：自然科学版
• 学科: 工学
• 关键词: 铝诱导 层交换 非晶硅晶化 低温退火 俄歇电子能谱 X-射线衍射
• 年，卷（期）: 2012,（4）
• 页码范围: 17-25
• 页数: 9页
• 分类号: TB303|O484
• 字数: 5244字
• 语种: 中文

摘要

铝诱导层交换是指铝-非晶硅双层膜经低温退火后，铝和非晶硅层的位置发生交换，导致在原来铝层的位置处形成一完整连续的多晶硅层．这一技术的应用将大幅度降低制备多晶硅薄膜的成本．本文针对近几年有关铝诱导层交换的研究进展，包括实验和理论研究两方面的进展，结合铝诱导层交换表征的一具体实例，对影响铝诱导交换的主要因素、层交换的动态过程及其机理作了一个综述．

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王江涌	汕头大学理学院	22	34	3.0	4.0
2	刘毅	汕头大学理学院	6	15	2.0	3.0
3	黄木香	汕头大学理学院	2	2	1.0	1.0
4	徐文武	汕头大学理学院	1	0	0.0	0.0
5	陈仁武	汕头大学理学院	1	0	0.0	0.0
6	魏少巍	汕头大学理学院	1	0	0.0	0.0