DMD数字微镜驱动控制系统分析及其应用

• 作者: 吴宾初 姜兆华 安博言 张伟 潘涌 骆公序
• 来源期刊: 应用激光
• 学科: 工学
• 关键词: DMD DMD驱动控制 二进制脉宽调制 灰度投影光刻 DLP技术 激光投影
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 页码范围: 212-216
• 页数: 5页
• 分类号: TP273
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AL20123203.212

摘要

数字微反射镜器件(DMD)是数字式光处理(DLP)投影显示技术的核心,有着巨大的应用潜力.叙述了DMD的控制原理和特点.首先,基于DMD数字微镜控制器的驱动控制系统和采用二进制脉宽调制(BPWM)技术精确控制光源,接收PC机传输的实时图像显示数据,生成控制DMD翻转的控制时序及其复位脉冲信号,搭建了蓝光半导体激光投影光刻装置,实现了高分辨率灰度图像的分层曝光和曝光量的精确控制；其次,基于DLP投影系统,采用RGB激光源,通过光纤耦合和合束,建立了激光投影实验装置.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姜兆华		20	44	3.0	5.0
2	张伟		21	54	3.0	7.0
3	潘涌		17	33	3.0	5.0
4	骆公序		11	15	2.0	3.0
5	安博言		5	2	1.0	1.0
6	吴宾初		6	6	2.0	2.0