人工机械瓣材料上沉积类金刚石膜及耐磨性研究

• 作者: 叶亮 孙鸿 黄楠
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 机械瓣 Ti6Al4V 类金刚石膜 摩擦磨损
• 年，卷（期）: 2012,（11）
• 所属期刊栏目: 结构薄膜
• 页码范围: 1048-1054
• 分类号: TB79
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2012.11.18

摘要

采用磁过滤阴极真空弧源法对低温热解碳瓣叶和瓣环内Ti6Al4V贴片进行了类金刚石膜沉积,并利用模拟摩擦磨损试验检验了薄膜耐磨性,采用X射线光电子能谱检测了薄膜化学键结构.结果表明:利用A3工艺在瓣环内Ti6Al4V贴片上制备了sp3键含量约为66.9％的类金刚石膜,该薄膜在模拟体液中具备较好的耐磨性,同时,缩短每轮镀膜时间降低了薄膜沉积温度,有利于增加薄膜sp3键含量,提高耐磨性；利用B工艺在瓣叶边缘上沉积了sp3键含量约为67.9％的类金刚石膜,该薄膜与A3工艺镀膜后的瓣环内Ti6Al4V贴片配合进行了模拟摩擦磨损试验,体现出较好的耐磨性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄楠	西南交通大学材料先进技术教育部重点实验室	160	1147	19.0	27.0
2	孙鸿	西南交通大学材料先进技术教育部重点实验室	46	334	10.0	15.0
3	叶亮	西南交通大学材料先进技术教育部重点实验室	1	3	1.0	1.0