掺氮类金刚石薄膜的微观结构和光学特性研究

• 作者: 唐吉龙 韩旭
• 来源期刊: 真空
• 学科: 物理学
• 关键词: 类金刚石薄膜 原子力显微镜 拉曼光谱 椭圆偏振光谱
• 年，卷（期）: 2012,（5）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 42-44
• 页数: 3页
• 分类号: O484
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2012.05.012

摘要

采用射频等离子增强化学气相沉积法( PECVD)制备掺氮类金刚石薄膜(DLC:N),通过原子力显微镜,拉曼光谱和椭圆偏振光谱等对试验样品进行研究,实验结果表明,在薄膜中,氮元素主要以C=N键的形式存在,起到了降低薄膜内应力,提高薄膜附着力的作用；此外,通过控制掺氮量可以制得折射率在1.85～1.6范围内的DLC薄膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐吉龙		28	104	4.0	10.0
2	韩旭		22	44	4.0	5.0