ITO镀膜设备气室门阀阀板的改进设计

• 作者: 刘月豹 张红 朱旺根 汪奇 王共志 王成雷
• 来源期刊: 玻璃
• 学科: 工学
• 关键词: ITO导电玻璃 真空室 阀板 气密性
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 所属期刊栏目: 玻璃深加工
• 页码范围: 43-46
• 分类号: TQ171
• 字数: 2770字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-1987.2012.02.010

摘要

通过对ITO镀膜设备气室门阀阀板的结构进行改进，解决了实际生产中真空室密封性能差、阀板使用寿命短、产品质量不稳定等一系列问题。改进要点是在主动、从动阀板上增加设计了冷却水循环水道。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘月豹		8	2	1.0	1.0
2	张红		4	0	0.0	0.0
3	汪奇		2	0	0.0	0.0
4	王成雷		1	0	0.0	0.0
5	王共志		1	0	0.0	0.0
6	朱旺根		1	0	0.0	0.0