一种高分辨率的光纤定位单元定位精度的测量装置

• 作者: 徐建雷 翟超 顾永刚
• 来源期刊: 机电一体化
• 学科: 工学
• 关键词: 光纤定位 CCD 移动平台 光学显微镜 定位精度
• 年，卷（期）: 2012,（9）
• 所属期刊栏目: 应用·交流
• 页码范围: 54-57,70
• 分类号: TH15
• 字数: 2590字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-080x.2012.09.011

摘要

目前对光纤定位单元定位精度的检测所使用的测量手段是摄影测量,由于被测光纤的孔径非常小,使得这种测量方法的分辨率不高.该文提出了一种新的测量方法,检测装置由显微镜、CCD相机、二维精密移动平台组成.被测光纤通过显微镜放大成像于CCD中,通过对CCD所拍摄照片的实时处理,建立位置反馈机制,实时操控二维精密移动平台追随光纤运动,光纤在运动中始终成像于CCD视场中心,通过读取移动平台坐标的变化来表征光纤移动的位置变化.实验结果表明,该套测量系统的分辨率达到了0.1 μm,重复定位精度1.5 μm,实现了高精度的检测要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	翟超	中国科学技术大学工程与材料科学实验中心	67	511	14.0	18.0
2	顾永刚	中国科学技术大学工程与材料科学实验中心	14	55	4.0	7.0
3	徐建雷	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	1	0	0.0	0.0