等厚干涉法测量薄膜厚度的两种方法

• 作者: 左则文
• 来源期刊: 安徽师范大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 等厚干涉 薄膜 厚度测量
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 所属期刊栏目: 物理与电子信息科学
• 页码范围: 32-34
• 分类号: O43
• 字数: 1764字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2443.2012.01.007

摘要

等厚干涉法测量薄膜厚度设备简易,操作方便,分析直观,在生产中有着广泛的应用.本文探讨了两种等厚干涉法测量薄膜厚度的原理与方法,利用预先形成的薄膜台阶产生空气或透明材料劈尖,单色光在劈尖上下两界面的反射光发生相干叠加产生干涉条纹,通过条纹相关参数的测量,获得薄膜的厚度.通过比较,空气劈尖法较之薄膜劈尖法操作更简易、准确,因而更实用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	左则文	安徽师范大学物理与电子信息学院	2	9	1.0	2.0