TiO2基紫外探测器的制备及退火工艺对光电性能的影响

• 作者: 刘大博 祁洪飞
• 来源期刊: 航空材料学报
• 关键词: TiO2 紫外探测器 退火工艺 光电性能
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 页码范围: 82-86
• 分类号: TN36
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-5053.2012.2.015

摘要

采用磁控溅射方法,通过不同工艺的退火处理,制备了光电性能优良的TiO2基紫外探测器.通过紫外光电性能测试、扫描电子显微镜( SEM)观察及X射线衍射(XRD)分析,研究了退火工艺对探测器光电性能的影响规律.结果表明:随着退火温度的增加,TiO2晶粒尺寸显著增大,晶界和缺陷数量的变化是导致TiO2基紫外探测器的光电性能随退火工艺变化的根本原因.经500℃/2h退火后,紫外探测器的光电流高出暗电流近2.5个数量级,紫外波段的光响应高出可见光波段近2个数量级,所制备紫外探测器达到了高辐射灵敏度和可见盲特性的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	祁洪飞		24	59	5.0	5.0
2	刘大博		38	375	7.0	18.0