多晶硅氢化炉防接地改造

• 作者: 李国安 黄琰
• 来源期刊: 江西化工
• 关键词: 热氢化 氢化炉 电极 隔热环 绝缘套 聚四氟乙烯 氮化硅 隔热罩
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 所属期刊栏目: 实验研究
• 页码范围: 120-121
• 页数: 2页
• 字数: 1224字
• 语种: 中文

摘要

氢化工序是改良西门子法闭环生产多晶硅的重要工序,而氢化炉是热氢化工艺的重要设备,根据各多晶硅企业经验,电极接地时造成氢化炉不能长周期稳定运行的主要原因.本文以MSA氢化炉为例,分析氢化炉接地原因,并对氢化炉电极结构及防护部件提出改造方案,从而解决氢化炉频繁接地的问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄琰		2	6	2.0	2.0
2	李国安		2	6	2.0	2.0