高功率激光系统金属表面颗粒污染物负压吸取采样方法研究

• 作者: 叶自煜 李丹明 王春勇 贾连军
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 高功率激光系统 光滑金属表面 颗粒污染物采样 负压采样法
• 年，卷（期）: 2012,（11）
• 所属期刊栏目: 真空技术与理论
• 页码范围: 1038-1041
• 分类号: TB774+.3
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2012.11.16

摘要

针对高功率激光系统中光滑金属表面颗粒污染物采样与分析的要求,提出了一种用负压吸取的方式采集金属表面颗粒污染物的方法.通过理论计算分析了负压吸取法的可行性,设计了采样效率评估试验,试验结果表明该方法对于高功率激光系统中光滑金属表面颗粒物的采样具有很好的适用性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李丹明		15	54	4.0	7.0
2	王春勇		10	7	2.0	2.0
3	叶自煜		4	14	2.0	3.0
4	贾连军		3	4	1.0	1.0