一种新型低噪声真空微电子加速度计的接口ASIC

• 作者: 刘海涛 温中泉 温志渝 贺学峰 陈李
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 真空微电子 ASIC 低噪声 混频 相关检测
• 年，卷（期）: 2012,（7）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 911-916
• 分类号: TN492
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2012.07.009

摘要

真空微电子加速度计基于隧道效应而工作,其内部固有的低频噪声(如1/f噪声)大大降低其信噪比,而且也是影响精度和线性度的主要因素.采用混频技术和相关检测算法,本文研制和设计了一种新型低噪声接口ASIC(专用集成电路).最后测试了加速度计的噪声和线性度,在0～200 Hz范围内输出信号平均噪声密度为69μV·Hz-1/2,线性度相关系数为99.99％,最大的非线性度为0.41％.通过实验结果可以看出该电路能大大改善加速度计的噪声特性和线性度,而且该电路设计思想能用于其它隧道效应加速度计.