低方阻、高透光度复合透明导电膜的研制

• 作者: 刘永华 祖成奎 邱阳 金扬利
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 透明导电膜 透光度 方阻 复合
• 年，卷（期）: 2012,（5）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 32-34
• 页数: 3页
• 分类号: O484|TB43
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2012.05.009

摘要

摘要:针对低方阻、高透光度透明导电膜的要求,利用薄膜光学干涉原理,设计了ITO+Si02复合型的透明导电膜；研究了基底温度、沉积速率、充氧量等工艺参数对ITO膜的影响；利用优化的工艺参数成功制备了复合透明导电膜.测试结果表明,膜层性能优异,能够满足使用要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘永华		14	42	4.0	6.0
2	祖成奎		45	202	7.0	12.0
3	金扬利		11	37	4.0	5.0
4	邱阳		11	30	4.0	5.0