晶体硅太阳电池的双层结构钝化膜研究

• 作者: 张亚非 李翔 耿会娟
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 太阳电池 减反射 钝化 TiO2 SiNx
• 年，卷（期）: 2012,（8）
• 所属期刊栏目: 器件与技术
• 页码范围: 498-502,556
• 分类号: TM914.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2012.08.002

摘要

针对目前基于p型硅片制备的单结太阳电池进一步提高表面钝化膜生产效率,利用氮化硅(SiNx)薄膜良好的钝化效果与价格低廉的二氧化钛(TiO2)膜,降低SiNx镀膜厚度减薄对少子寿命的影响.在单晶硅片表面先用PECVD法沉积SiNx薄膜,然后用热喷涂沉积TiO2薄膜.对比测试了热喷涂沉积TiO2薄膜前后电池的性能,结果表明在SiNx膜上增加TiO2膜层后少子寿命明显提高,这可能是TiO2膜结构内存在固定正电荷所致.这种双层结构封装后的太阳电池显示出了较好的光学与电学性能,对进一步改进太阳电池性能具有重要参考价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李翔	上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室	67	1177	16.0	33.0
2	张亚非	上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室	46	182	8.0	12.0
3	耿会娟	上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室	1	1	1.0	1.0