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引信MEMS弹簧
MEMS
微弹簧
引信
硅基MEMS技术
微电子机械系统
牺牲层
体硅工艺
深刻蚀
引信MEMS机构结构特点研究
MEMS机构
引信
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引信MEMS机构微装配研究
引信
MEMS
安全系统
微装配技术
自动化
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文献信息
篇名 Applications of MEMS devices in nanosatellite
来源期刊 中国工程科学:英文版 学科 工学
关键词 MEMS器件 纳米卫星 应用 互补金属氧化物半导体 微型惯性测量单元 MEMS技术 微机电系统 太阳传感器
年,卷(期) 2012,(5) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 33-35,57
页数 4页 分类号 TP212|TH-39
字数 语种 英文
DOI
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研究主题发展历程
节点文献
MEMS器件
纳米卫星
应用
互补金属氧化物半导体
微型惯性测量单元
MEMS技术
微机电系统
太阳传感器
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
工程科学(英文版)
季刊
1672-4178
10-1244/N
北京市西城区德外大街4号
80-744
2003
eng
出版文献量(篇)
580
总下载数(次)
0
总被引数(次)
941
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