半导体设备预测性维修技术

• 作者: 王奕 陈宛峰
• 来源期刊: 电子与封装
• 学科: 工学
• 关键词: 恢复性维修 预防性维修 预测性维修
• 年，卷（期）: 2012,（4）
• 所属期刊栏目: 产品应用与市场
• 页码范围: 42-44
• 页数: 3页
• 分类号: TN304.05
• 字数: 1647字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1681-1070.2012.04.013

摘要

预测性维修是多年来维修领域研究的重点问题,文章从一般预测维修的论点出发,分析比较了修复性维修、预防维修和预测性维修的优缺点,并列举了一些半导体设备预测性维修的措施。半导体设备生产都是流水线作业,生产中任何一台设备发生故障或者失败都会给企业带来停产,造成巨大损失。所以要对重点设备、关键设备进行监控,进行预知性维修,消除隐藏故障,避免发生重大灾难后果。预测性维修是以状态为依据的维修,在机器运行时,对它的主要部位进行定期（或连续）的状态监测和故障诊断,判定装备所处的状态,预测装备状态未来的发展趋势,依据装备的状态发展趋势和可能的故障模式,预先制定预测性维修计划,确定机器启动修理的时间、内容、方式和必需的技术及物资支持。预测性维修集设备状态监测、故障诊断、故障（状态）预测、维修决策支持和维修活动于一体,是一种新兴的维修方式。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王奕		7	9	2.0	2.0
2	陈宛峰		2	35	2.0	2.0